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壓電馬達控制器是直線壓電馬達，內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動，直線運動行程可選6、10、 25、50、100mm，可達亞納米級分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（增量式...

壓電納米定位臺是一款三維運動的壓電平 臺，行程可高達 100μm，適用于小型樣品的三維納米定位應(yīng)用。

二維壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X，Y軸200μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。...

一維納米定位臺，為一維×向運動壓電平臺，可進行10~200um范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。